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有害物質を使用した真空機器の買い取りおよび無害化洗浄サービスのご提供も行っています。ただし、放射性物質については取り扱いを行っていませんので、詳しくは当社リセール本部に確認してください。
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 有毒なガスの成分を含んだもの
高濃度の酸、アルカリ生成物
特定化学物質
重金属
劇薬物 |
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（赤字該当装置）
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| 主な装置 |
ガスによる汚染 |
材料による汚染 |
副生物による汚染 |
基板による汚染 |
| 蒸着装置 |
通常なし |
蒸発材料 Pb，Se等 |
通常なし |
GaAs基板等 |
| スパッタ装置 |
通常なし |
ターゲット材料 Cd等 |
通常なし |
GaAs基板等 |
| エッチング装置 |
CL系、BCL等 |
CL系、BCL等 |
フッ酸等 |
GaAs基板等 |
| CVD装置 |
シラン系、MoH6,WF6 |
シラン系、MoH6,WF6 |
フッ酸等 |
GaAs基板等 |
| イオン注入機 |
PH3,AsH3, B2H6 |
PH3,AsH3, B2H6 |
フッ酸等 |
GaAs基板等 |
| その他 |
要確認 |
要確認 |
要確認 |
GaAs基板等 |
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